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        | 真空用潤滑剤 |  |  
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              | 商品名 | 説  明 | データ表 |  
              | 真空ポンプ油 | 真空ポンプ油は、圧力範囲:大気圧〜10‐3Torr の中真空領域を油回転ポンプで、また圧力範囲:10‐3〜10‐10Torr の高真空領域を拡散ポンプで行います。・・・ 2025年3月更新 |  |  
              | フッ素系真空ポンプ油 | 真空ポンプ油は、圧力範囲:大気圧〜10‐3Torr の中真空領域を油回転ポンプで、また圧力範囲:10‐3〜10‐10Torr の高真空領域を拡散ポンプで行います。・・・ 2025年3月更新 |  |  
              | 真空機器用グリース | 一般的に、クリーンルームにはフッ素系グリースが使用されます。・・・ 2025年3月更新 |  |  |  |